经过过滤系统处理的废气通过收集管道，首入蓄热室，蓄热室内安装的板片式陶瓷蓄热体将贮存的热能交换给废气，使待处理废气达到预热温度；经预热后的废气进入氧化室，氧化室内安装燃料（气）燃烧器，将温度升高至800℃以上，达到废气中各污染物的氧化温度，使废气中的废气被氧化分解成CO₂和H₂O；

由于废气中含有粉尘及粘性物质，如果直接进入沸石转轮吸附系统会堵塞沸石转轮的空隙，导致吸附效率降低甚至失效，同时，由于沸石转轮使用寿命比较长，为了转轮的吸附效果，通常在废气进入沸石转轮前采用过滤器将粉尘及粘性物质去除，过滤器通常采用过滤，：过滤精度G4，级：过滤精度F6，第：过滤精度F9，废气无粉尘和颗粒等。

工厂所排放出之VOCS 废气进入系统后，一阶段系经过疏水性沸石所组成之转轮，VOCS 污染物质首先于转轮上进行吸附；阶段之脱附程序是由与后端焚化系统热交换后预热之经冷却区处理后废气(约180至220 ℃)，使其通入转轮内利用高温将物脱附下来，此时出流污染物浓度大约可控制为入流废气之5至20倍左右，而脱附下来之物则可于第三阶段进行温度于700℃以上之焚化或进行冷凝回收再利用等程序，如此可以减少后续之废气处理单元尺寸、操作经费及设备初设费用。